Nuevo interferómetro para medir con gran precisión el grosor de las obleas

Cada uno de ellos consta de un sensor compacto y un controlador, que se alojan en una robusta caja de calidad industrial.Un control activo de la temperatura integrado en el controlador garantiza una gran estabilidad de la medición.

El interferómetro está disponible como sistema de medición de espesor o como sistema de medición de espesor multipico. El sistema de medición de espesor multipico puede medir el espesor de hasta cinco capas, por ejemplo, el espesor de obleas, entrehierros, láminas y revestimientos >50 µm. Para mediciones de espesor en condiciones ambientales difíciles, el controlador IMS5420IP67 está disponible con carcasa IP67 y de acero inoxidable, así como guías de luz y sensores a juego.