Sensores de presión ultrabaja de 0 ... 25 Pa

La medición del caudal másico térmico se miniaturizó e integró en un chip de silicio de sólo 2 x 2 mm² mediante microestructuración.
Su alta sensibilidad combinada con un buen comportamiento frente a sobrepresiones predestina a los sensores LDE/LME/LMI de AMSYS para la medición de caudales volumétricos. Estos sensores se utilizan principalmente en la técnica médica y en la técnica de ventilación y climatización. Por razones de eficiencia, la obstrucción requerida para la medición de caudal volumétrico debe ser lo más baja posible, lo que aumenta las exigencias a los sensores de presión diferencial debido a la baja caída de presión - requisitos ideales para los nuevos sensores de presión ultrabaja Micro-Flow de AMSYS.
El principio de funcionamiento de la medición térmica del caudal másico se basa en un elemento calefactor que calienta el gas en una pequeña abertura entre las dos tomas de presión. Las diferencias de presión hacen que se forme un gradiente de temperatura asimétrico en el canal de conexión debido al flujo de gas. Esto se detecta con sensores de temperatura situados a ambos lados del elemento calefactor y se convierte en una señal de presión diferencial linealizada.


La ventaja de la medición del caudal másico es su enorme sensibilidad para las diferencias de presión más pequeñas. Esto permite rangos de medición de 0 ... 25 Pa o +/-25 Pa con una alta resistencia simultánea a la sobrepresión de hasta 2 bar. La solución a través de un minúsculo canal de conexión microestructurado en un troquel de silicio minimiza el flujo no deseado en el que la impedancia neumática aumenta a unos 200 kPa/(ml/s). Esto supone un factor de 1000 en comparación con sensores similares y hace que los sensores de baja presión de AMSYS sean robustos frente al polvo y las interferencias de mangueras largas.
El pequeñísimo encapsulado SMD de los sensores LME / LMI está optimizado para el montaje directo en conjuntos de válvulas (montaje en colector). Alternativamente, con la serie LDE, también está disponible una versión con conexiones de manguera para montaje SMD o DIP.
Como señal de salida está disponible una señal analógica de 16 bits I²C- (serie LMI) o SPI- y 0,5 ... 4,5V (serie LME/LDE). El valor del sensor de temperatura integrado también puede consultarse a través de las salidas digitales. Durante la fabricación, los sensores de baja presión se linealizan, calibran y compensan en temperatura individualmente. Por lo tanto, no se requiere ningún circuito adicional, como una red de compensación.
AMSYS ofrece los sensores de presión de microflujo LDE/LME/LMI en el rango de 0 ... 25 Pa a 0 ... 50 mbar, alternativamente como versión bidireccional con ±25 Pa a ±50 mbar.