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El interferómetro de luz blanca IMS5400-DS se utiliza para medir distancias absolutas con precisión nanométrica. A diferencia de los interferómetros convencionales, el IMS5400-DS también permite la medición estable de perfiles escalonados. El controlador dispone de una evaluación inteligente y permite realizar mediciones absolutas con precisión nanométrica a una distancia de base relativamente grande. En comparación con otros sistemas ópticos de medición absoluta, el IMS5400-DS ofrece así una combinación insuperable de precisión, rango de medición y distancia base. Con la medición de distancia multipico en objetos transparentes, se evalúan simultáneamente hasta 14 valores de distancia. Esto puede utilizarse, por ejemplo, para determinar la distancia entre el cristal y una placa de soporte. Además, el controlador puede calcular el grosor del cristal a partir de los valores de distancia.