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Das Weißlicht-Interferometer IMS5400-DS wird für absolute Abstandsmessung mit Nanometerpräzision eingesetzt. Anders als herkömmliche Interferometer ermöglicht das IMS5400-DS auch die stabile Messung von Stufenprofilen. Der Controller verfügt über eine intelligente Auswertung und ermöglicht absolute Messungen mit Nanometer-Genauigkeit bei verhältnismäßig großem Grundabstand. Im Vergleich zu anderen absolut messenden optischen Systemen bietet das IMS5400-DS damit eine unübertroffene Kombination aus Genauigkeit, Messbereich und Grundabstand. Bei der Multipeak-Abstandsmessung auf transparente Objekten werden bis zu 14 Abstandswerte gleichzeitig ausgewertet. Damit kann beispielsweise der Abstand zwischen Glas und einer Trägerplatte ermittelt werden. Darüber hinaus kann der Controller die Glasdicke aus den Abstandswerten berechnen.