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El interferómetro de luz blanca IMS5600-DS se utiliza para la medición de alta precisión de desplazamientos y distancias. El sistema proporciona valores medidos absolutos y, por tanto, también puede utilizarse para la medición de distancias de perfiles de pasos. Gracias a la medición absoluta, la exploración de pasos tiene lugar con una elevada estabilidad de la señal. De este modo, al medir sobre objetos en movimiento, pueden detectarse con fiabilidad las diferencias de altura de rellanos, escalones y depresiones. El sistema de medición ofrece una resolución subnanométrica con una distancia base simultáneamente grande en relación con el rango de medición. Con la medición de distancia multipico en objetos transparentes, se evalúan simultáneamente hasta 14 valores de distancia. Esto puede utilizarse, por ejemplo, para determinar la distancia entre el cristal y una placa de soporte. A continuación, el controlador puede calcular el grosor del cristal a partir de los valores de distancia.