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Das Weißlicht-Interferometer IMS5600-DS wird zur hochpräzisen Weg- und Abstandsmessung eingesetzt. Die System liefert absolute Messwerte und kann daher auch zur Abstandsmessung von Stufenprofilen eingesetzt werden. Dank der absoluten Messung erfolgt das Abtasten von Stufen mit hoher Signalstabilität. Bei Messungen auf bewegte Objekte können somit die Höhenunterschiede von Absätzen, Stufen und Vertiefungen zuverlässig erfasst werden. Das Messsystem bietet eine Sub-Nanometer-Auflösung bei gleichzeitig großem Grundabstand in Relation zum Messbereich. Bei der Multipeak-Abstandsmessung auf transparente Objekten werden bis zu 14 Abstandswerte gleichzeitig ausgewertet. Damit kann beispielsweise der Abstand zwischen Glas und einer Trägerplatte ermittelt werden. Darüber kann der Controller die Glasdicke aus den Abstandswerten berechnen.