Differenzdrucksensor LDE/LME/LMI

LDE/LME/LMI-Differenzdrucksensoren werden experimentell mit anderen Sensoren verglichen, die nach dem gleichen Messprinzip der thermischen Massendurchflussmessung arbeiten. LDE/LME/LMI-Differenzdrucksensoren mit Strömungswiderständen von >10 kPa/(ml/s) benötigen aufgrund ihres sehr kleinen, im Silizium-Chip integrierten Strömungskanals 100- bis 1000-fach weniger feuchte Luft zur Durchführung der Messungen und behalten ihre spezifizierte Messgenauigkeit über die gesamte Testdauer.