Der smarte Blick auf dünne Scheiben
2015-03-25 07:21:49, MATRIX VISION GmbH Wafer dienen als Grundplatte für elektronische Bauteile. In den meisten Fällen bestehen die Scheiben aus Silizium. Für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik kommen auch Glas-Wafer zum Einsatz, auf welche Dotierungssubstrat aufgebracht wird. Für die Kontrolle des aufgetragenen Substrats hat EVT ein autonomes Inspektionssystem entwickelt.