Drücke auf kleinstem Raum messen mit der Druckmesszelle SM30F

Silizium–MEMS haben längst die mechanischen Messaufnehmer mit elastischen (Polymer-) Membranen verdrängt und sich z.B. in der Belüftungstechnik (HVAC) sowie in der Medizin- als auch Automobiltechnik millionenfach bewährt. Ihr Vorteil sind ihre Größe, Stabilität und Kostenvorteile.

Amsys vertreibt seit über 25 Jahren Druckmesszellen und -sensoren von Silicon Microstructures, Inc. (SMI), heute zu TE gehörend. Dabei wird die komplette Palette für alle Druckarten und -bereiche angeboten. Es wird unterschieden in Differenz-/Relativdruck- und Absolutdruckmesszellen, letztere auch für raue Einsatzbedingungen. Hier ist insbesondere der rückseitenbeaufschlagte SM97A für 10, 20 und 50 bar zu nennen.

Der hier gezeigt SM30F dient der Bestimmung von mittleren Relativ- und Differenzdrücken von unter 5 psi bis 150 psi (etwa 350 mbar – 10 bar). Die mit offener oder geschlossener Messbrücke erhältlichen Chips weisen ein Ausgangssignal von typischerweise 80 mV (30 psi und 150 psi Version) bzw. sogar 90 mV (5, 15, 80 psi Varianten) auf.

Dabei zeichnen sich die Messzellen ab einem Druckbereich von 15 psi durch eine von Vorder- und Rückseite gleichbleibend niedrige Nichtlinearität von typ. nur +/-0,1% der Spanne aus. Das prädestiniert den SM30F zur Rückseitenbeaufschlagung, d.h. das Medium kommt bei Relativdruckmessungen allein mit der Rückseite in Kontakt. Da diese nur aus Silizium besteht, sind auch Messungen an leitfähigen und leicht korrosiven Flüssigkeiten für diese Druckmesszelle kein Problem.

Das Angebot von Siliziumdruckmesszellen bei AMSYS wird komplettiert durch die Differenzdruck-dies SM9520 für niedrigste Drücke zwischen max. 10 mbar und 100 mbar sowie den ultrakompakten Absolutdruckdie SM5108E für 30, 60 und 100 psi (2, 4 und 7 bar). Darüber hinaus bietet AMSYS auch besonders robuste keramische Messzellen, insbesondere für höhere Druckbereiche an. Viele potentielle Fallstricke in der großen Auswahl lassen eine Beratung durch Ihren Sensorspezialisten angeraten erscheinen, um die für Ihren Anwendungsfall optimale Lösung zu finden.