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Der SM30F (nachfolger von SM30D) ist ein mikrostrukturierter, piezoresistiver Drucksensorchip aus Silizium (MEMS die).

Dieses Gerät ist mit einem maximalen Messbereich von 5 bis 150 psi erhältlich. Eine 500 psi Version ist in der Entwicklung. Es sind sowohl Versionen mit offener als auch mit geschlossener Brücke erhältlich. Dieser Sensor ist ideal für OEM- und Großserienanwendungen.
Diese Sensoren werden in Form von Dies geliefert und können auf Keramik, auf einer Vielzahl von Substraten oder Gehäusen als Teil eines OEM-Systems montiert werden. Sie können auch in proprietäre oder anwendungsspezifische Sensorlinien integriert werden.
Die Dies werden elektrisch getestet, vereinzelt, inspiziert und auf Folie versandt. Eine Wafermap wird mit jedem Wafer geliefert.

Druckbereiche des SM30F-H-NDSM30F-H-ND:
5 / 15 / 30 / 80 / 150 psi


Eigenschaften:

• Erhöhte Stabilität durch integrierte Feldabschirmung

• Qualifizierter Betriebstemperaturbereich: -40°C bis 150°C

• Kleine Bauform 1,34 x 1,34 mm

• Differential- oder Manometer-Konfiguration

• Verfügbar für 5, 15, 30, 80, 150 und 500 psi

• Ratiometrisch mit einer Versorgungsspannung von bis zu 10 V

• Qualifiziert nach Grade 0 AEC-Q100 Automobilstandards

• Hergestellt nach den Normen ISO9001 und ISO/TS 16949

• RoHS- & REACH-konform