SEMIFLOW CO.65
Artikelnummer: Ultrasonic Clamp-On Flow Sensor Anwendungen ChemieindustrieHalbleiterindustrie
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Der Ultraschall Clamp-On Durchflussmesser SEMIFLOW CO.65 eignet sich hervorrangend für eine Reihe von Prozessen in der Halbleiterindustrie, bei denen verschiedene abrasive, anhaftende, korrosive und hochreine Flüssigkeiten Verwendung finden. Um die Stabilität und hohe Qualität dieser Prozesse zu gewährleisten, ist eine ständige Überwachung des Durchflusses an harten Kunststoffschläuchen und -rohren von großer Bedeutung.
Ausgestattet mit einer integrierten Elektronikeinheit funktionieren die Sensoren als kompletter Durchflussmesser in der Größe eines kleinen Transducers ohne externe Platine oder Messumformer.
Ausgestattet mit einer integrierten Elektronikeinheit funktionieren die Sensoren als kompletter Durchflussmesser in der Größe eines kleinen Transducers ohne externe Platine oder Messumformer.
SONOTEC GmbH
Thüringer Str. 33
06112 Halle (Saale)
Deutschland
06112 Halle (Saale)
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+49 345 13317 0
+49 345 13317 99
Eigenschaften von SEMIFLOW CO.65
Können von Anbieterdaten abweichen
Basisdaten
Genauigkeit (%) 2 %
Messbereich Volumenstrom/ Schaltbereich 0 bis 400 l/min
Messverfahren Ultraschall Clamp-on-Durchflussmesser
Weitere Messmöglichkeiten Durchfluss
Messmedium Flüssigkeiten Flüssigkeitsgemische schalltransparente Flüssigkeiten
Produkt-Umgebungseinflüsse (Schutzart/Temperatur)
Schutzart IP 65
Signalein-/ausgänge, Schnittstellen
weitere Signalausgänge Frequenzausgang
Schnittstellen Modbus RS-485
Signal-Ausgang 0...20 mA 4...20 mA
Schaltausgang NPN PNP Push-Pull
Gehäuse/ Bauform/ mechanische Daten/ Materialien
Sensor-Bauform Clamp-On
Gehäusematerial (ev. weitere siehe Datenblatt) PMMA (Messkanal) Silikon (Inlay) Gehäuse u. Deckel: PP-H grau
Anwendungsspezifische Eigenschaften
Anwendungsspezifische Eigenschaften berührungslose Messung kein Koppelmedium erforderlich kompakte Sensorbauform alle anzeigen verschleiß- und wartungsfrei kein Totvolumen schnelle und verzögerungsfreie Messung beliebige Einbaulage des Sensors sterilisierbar Messung von pulsierenden Strömungen möglich
Prozessanschluss/Montage
Prozessanschluss/ Montage in jeder Lage am Schlauch frei, hängend oder als feste Installation Clampverbindung
Mögliche Sonderausführungen
Mögliche Sonderausführungen Spannungsversorgung Signalausgang Kanalbreite
Zulassungen/ Zertifikate/ Performance-Level/ Integritäts-Level
Zulassungen/ Zertifikate/ Prüfzeichen RoHS/REACH IEC 61157 (acoustic emission) 2014/30/EU (EMV directive)
Elektrische Daten/ Signal-Anschlüsse
Elektrischer Anschluss Binder-Stecker, Typ 720, 8-polig, male
Typ. Anwendungen
Typ. Anwendungen Anlagen zur Waferreinigung Lithographieanlagen Mischanlagen alle anzeigen Chemikalien-Versorgungssysteme Slurry Line
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