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Der SM97A ist ein mikrostrukturierter, piezoresistiver Drucksensor-Chip aus Silizium. Er ersetzt den SM98A und bietet eine bessere Empfindlichkeit und eine sehr geringe Langzeitdrift.

Der SM97A wurde für raue Umgebungsbedingungen entwickelt, in denen der absolute Druck genau gemessen werden muss. Im Gegensatz zu herkömmlichen Drucksensorchips kommt das Medium nur mit Silizium in Kontakt. Daher werden die elektronischen Strukturen auf der Vorderseite des Chips während des Betriebs nicht korrosiv beeinträchtigt. Das Ergebnis ist ein langlebiger Drucksensor, der für anspruchsvolle Anwendungen geeignet ist.

Dieser Chip ist für einem Messbereich von 0 – 10 bar und 0 – 20 bar absolut (145 und 290 psiA) erhältlich und eignet sich ideal für OEM- und Großserienanwendungen. Diese Druckmesszellen werden in Form von Dies geliefert und können als Teil eines OEM-Systems auf Keramik- oder PCB-Substrat­en montiert werden.

Sie können auch für anwendungsspezifische Sensorlinien verwendet werden. Eine eutektische Rückseitenmetallisierung ist als Option erhältlich. Die Dies werden getestet, gewürfelt, geprüft und auf UV-Release-Tape oder blauem Tape ausgeliefert.

Merkmale

• Druckbereich: 10 bar (145 psiA), 20 bar (290 psiA)
• Robust durch bis zu 25-fachen Berstdruck
• Integrierter Temperatursensor
• Kleiner Chip (1,2 mm x 1,33 mm)
• Rückseitiger Einlass für raue Umgebungen
• 90 Millivolt Ausgang bei 5 V
• Voll-Silizium-Bauweise
• Rückseitige Metallisierung für eutektisches Bonden ist als Option erhältlich
• Eigenes Design für höheren Prüf- und Berstdruck