Konfokale Sensoren

Konfokale Sensor umfasst eine Reihe von optischen Messverfahren (Abstandsmessung, bildgebende Verfahren, Profilometrie), die auf dem Konfokalprinzip basieren: Zwei optische Systeme oder Strahlengänge sind konfokal, wenn sie einen gemeinsamen Brennpunkt besitzen.
Meist nutzt die Konfokaltechnik sehr kleine, nur wenige Mikrometer große Leucht- und Gesichtsfeldblenden, auch Pinholes genannt. Sie beschränken den beleuchteten Bereich auf dem Objekt und das Gesichtsfeld der Beobachtungsoptik auf einen Fleck, dessen Größe idealerweise durch die beugungsbedingte Auflösungsgrenze der Abbildung bestimmt wird. Der Beleuchtungsstrahlengang und der Beobachtungsstrahlengang sind somit konfokal.



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